硅片清洗后有水印怎么办
2022-11-06 罗雨 【 字体:大 中 小 】
硅片清洗后有水印怎么办呢?一起来和小编了解一下吧。
一、硅片清洗后有水印怎么办
1、冲洗不干净,可以拿一些干净的硅片再重新清洗一次,不要过清洗剂槽,看是否有水印出现,若无,则是清洗剂的问题,调整即可。
2、烘干不够,将硅片在进入烘干通道前取出甩干或吹干,看是否有水印,如无,则是加大烘干通道的力度。
3、水中杂质含量过高,造成不易清洗,清除水中的杂质即可。
二、硅片清洗工艺步骤有哪些
吸附在硅片表面上的杂质可分为分子型、离子型和原子型三种情况。其中分子型杂质与硅片表面之间的吸附力较弱,清除这类杂质粒子比较容易。它们多属油脂类杂质,具有疏水性的特点,对于清除离子型和原子型杂质具有掩蔽作用。
因此在对硅片进行化学清洗时,首先应该把它们清除干净。离子型和原子型吸附的杂质属于化学吸附杂质,其吸附力都较强。
在一般情况下,原子型吸附杂质的量较小,因此在化学清洗时,先清除掉离子型吸附杂质,然后再清除残存的离子型杂质及原子型杂质。
最后用高纯去离子水将硅片冲冼干净,再加温烘干或甩干就可得到洁净表面的硅片。
综上所述,清洗硅片的一般工艺程序为:去分子→去离子→去原子→去离子水冲洗。另外,为去除硅片表面的氧化层,常要增加一个稀氢氟酸浸泡步骤。
以上就是小编今日的分享了,希望可以帮助到大家。
猜你喜欢
江西省赣州市2023-06-06 17:16发布雷电黄色预警
河北省沧州市2023-06-06 16:27发布高温橙色预警
河北省石家庄市2023-06-06 17:29发布高温橙色预警
辽宁省盘锦市2023-06-06 17:21发布大风蓝色预警
云南省保山市2023-06-06 18:01发布雷电黄色预警
福建省三明市2023-06-06 18:20发布雷电黄色预警
福建省龙岩市2023-06-06 17:56发布雷电黄色预警
云南省临沧市2023-06-06 16:33发布暴雨橙色预警
河北省石家庄市2023-06-06 17:20发布高温橙色预警
辽宁省丹东市2023-06-06 18:08发布大风蓝色预警
橘子洲旅游攻略 长沙橘子洲怎么玩
西安周边旅游攻略 西安周边最值得去的地方
毛坦厂中学万人雨中送考 毛坦厂送考头车车牌91666祝福考生
珠峰被救女子不愿支付全部救援费用 珠峰攀登者为救遇险女子放弃登顶
登珠峰获救女子只愿承担4成救援费是怎么回事 登珠峰获救女子只愿承担4成救援费具体情况
国内出现偏肺病毒感染 尚无治疗药物
男子连吃100天麦当劳减重53斤是真的吗 男子连吃100天麦当劳为什么能减重53斤
本周狗屎运最旺的星座 本周狗屎运最旺的四大星座
印度耗资百亿卢比的大桥又塌了是什么情况 印度耗资百亿卢比的大桥又塌了是为什么
一个村考出300多大学生6个北大 湖南一小村考上一本奖4000二本3000